基于纵扭复合超声振动的光学元件表面加工中频误差抑制（特邀）

作者：张全利 Zhang Quanli, 余鑫亮 YU Xinliang, 孙国燕 Sun Guoyan, 樊明旭 FAN Mingxu, 吉霞斌 Ji Xiabin, 傅玉灿 FU Yucan · 发表于：Infrared and Laser Engineering · 年份：2026 · DOI：10.3788/irla20250554