基于扩束动态干涉仪的晶圆抛光盘掠入射拼接面形测量方法

作者：芮九多 Rui Jiuduo, 巫智勋 Wu Zhixun, 邓嘉信 Deng Jiaxin, 张嘉博 Zhang Jiabo, 韩志刚 Han Zhigang, 王青 Wang Qing, 朱日宏 Zhu Rihong · 发表于：Acta Optica Sinica · 年份：2025 · DOI：10.3788/aos241501 · 被引用次数：2 · 研究领域：Advanced Surface Polishing Techniques、Advanced machining processes and optimization、Advanced Machining and Optimization Techniques

针对车间环境下晶圆抛光盘面形测量问题，提出使用基于扩束动态干涉仪的掠入射拼接干涉测量方法。该方法结合非球面扩束系统和子孔径拼接方法，弥补了动态干涉仪测量口径的不足；利用掠入射干涉测量解决了粗糙被测面光束散射问题，同时拓展了动态干涉仪的面形误差检测量程。研究了系统出射波前离焦变化问题，基于像散光圈自校准的子孔径拼接算法，有效消除了子孔径拼接过程中系统离焦的干扰，为高精度子孔径拼接测量提供算法保障。测量了直径为576 mm晶圆抛光盘样品表面，并与三坐标机测量结果进行对比。所提方法的截线高度测量结果的平均误差为0.1375 μm，平面度误差为0.17 μm。实验结果表明，所提方法具备晶圆抛光盘面形检测能力，拓展了动态干涉仪的应用范围。