Carbon Precipitation in Cz and Efg Silicon

作者：S.Q. Feng, J.P. Kalejs, D. G. Ast · 发表于：MRS Proceedings · 年份：1985 · DOI：10.1557/proc-59-439 · 被引用次数：3 · 研究领域：Silicon and Solar Cell Technologies、Semiconductor materials and interfaces、Advancements in Semiconductor Devices and Circuit Design