Near field optical microscopy by local perturbation of a diffraction spot

作者：Renaud Bachelot, Philippe Gleyzes, Claude Boccara · 发表于：Microscopy Microanalysis Microstructures · 年份：1994 · DOI：10.1051/mmm:0199400504-6038900 · 被引用次数：50 · 研究领域：Force Microscopy Techniques and Applications、Near-Field Optical Microscopy、Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis

2014 En utilisant une pointe métallique qui vibre verticalement au dessus de la surface de l'échantillon, et perturbe périodiquement et localement la distribution du champ électromagnétique issu d'un objectif de microscope à grande ouverture numérique, nous avons observé une nette amélio- ration de la résolution optique, classiquement limitée par la diffraction.Le mouvement de la pointe oscillante est contrôlé par l'interaction répulsive avec la surface de l'échantillon, le déplacement de cette pointe nous fournit un signal de force atomique.Ce microscope optique en champ proche est ainsi couplé à un microscope à force atomique fonctionnant en mode "tapping".Nous décrivons pré- cisément le principe et le montage expérimental, et présentons des images NFOM et AFM d'échan- tillons dont les caractéristiques optiques et topographiques sont connues.Abstract.2014 Using a vibrating metallic tip, which periodically and locally modifies the distribution of a converging electromagnetic field issued from a microscope objective, we have observed a clear improvement of the optical resolution compared to the diffraction limited one.This NFOM technique is coupled with a "tapping mode" AFM which uses the same tip.The experimental set-up is described and NFOM and AFM images of known samples are presented.Microsc.Microanal.Microstruct.