Optical monitoring of etching in inorganic resists

作者：M. S. Chang, T. W. Hou · 发表于：Thin Solid Films · 年份：1978 · DOI：10.1016/0040-6090(78)90163-3 · 被引用次数：10 · 研究领域：Phase-change materials and chalcogenides、Chalcogenide Semiconductor Thin Films、Thin-Film Transistor Technologies