Shinku

出版商：Vacuum Society of Japan · ISSN：0559-8516, 1880-9413 · 国家/地区：JP · 类型：journal

研究主题：Metal and Thin Film Mechanics · Electron and X-Ray Spectroscopy Techniques · Semiconductor materials and devices · Plasma Diagnostics and Applications · Ion-surface interactions and analysis

数据覆盖：4 个公开学术数据源交叉核验（crossref、openalex、scimago、wikidata）。