姜淼 Jiang Miao
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代表论文
- 对准标记鲁棒性分析方法及仿真 (2023 · Acta Optica Sinica · 被引 4)
- 逆向光刻工艺进展 (2024 · Laser & Optoelectronics Progress · 被引 3)
- 套刻标记光学模型建立及性能参数仿真方法 (2025 · Acta Optica Sinica · 被引 2)
- 角分辨散射测量系统光阑特性研究 (2025 · Acta Optica Sinica · 被引 2)
- 像差致非对称光刻胶侧壁的对准量测误差机制 (2026 · Acta Optica Sinica)