曹静 Cao Jing
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代表论文
- 极紫外光刻中的边缘放置误差控制 (2024 · Chinese Journal of Lasers · 被引 8)
- 基于级联相位调制的4.9 kW窄线宽单纤光纤激光器 (2023 · Chinese Journal of Lasers · 被引 7)
- 飞秒激光调控非线性光学晶体和周期性纳米结构取向 (2022 · Laser & Optoelectronics Progress · 被引 3)
- 连续波千瓦级燃烧驱动HBr化学激光器 (2020 · Chinese Journal of Lasers · 被引 3)
- 极紫外光刻中掩模版3D效应缓解方法 (2025 · Laser & Optoelectronics Progress · 被引 1)
- 结构光照明显微成像技术在集成电路掩模检测中的应用 (2024 · Acta Optica Sinica · 被引 1)